真空度を確認するとき、Pa、Torr、mbar、mmHgなど複数の単位が出てくることがあります。真空ポンプ、真空計、真空チャンバー、乾燥機、脱泡装置、リーク試験、研究装置、半導体製造装置などでは、資料やメーカーによって表記が異なるため、単位の関係を理解しておくことが重要です。

結論から言うと、真空の単位変換でよく使う関係は、1 Torr = 約133.322 Pa、1 mbar = 100 Pa、1 mmHg ≒ 1 Torrです。PaはSI単位、TorrとmmHgは真空・水銀柱由来の単位、mbarは欧州系や真空機器で見かけることが多い単位です。

まずは、真空度でよく使うPa・Torr・mbar・mmHgの関係を早見表で確認しておきましょう。真空機器の仕様確認や、海外メーカー資料の読み替えに役立ちます。

Pa・Torr・mbar・mmHgの早見表

真空度とは？

真空度とは、簡単に言えば「どれだけ空気や気体が少ない状態か」を表す目安です。完全に何もない状態を完全真空と呼びますが、実際の装置では完全真空にすることはできません。そのため、真空ポンプや真空チャンバーでは、どの程度まで圧力を下げられるかを数値で表します。

ここで重要なのは、真空を絶対圧で表す場合、数値が小さいほど高い真空を意味するという点です。

日常感覚では「数値が大きいほど強い」と考えがちですが、真空の絶対圧表示では逆です。圧力の数値が小さいほど、気体が少なく、真空度が高い状態です。

Paとは？真空で最も基本になるSI単位

Paは「パスカル」と読みます。圧力のSI単位で、真空分野でも基本となる単位です。日本国内の設備資料、研究装置、真空ポンプ、真空計、半導体関連装置などではPa表記がよく使われます。

PaはSI単位なので、他の工学単位と合わせやすいのが特徴です。一方で、大気圧をPaで書くと101325 Paとなり、桁が大きくなります。そのため、真空ではPa、kPa、mbar、Torrなどが用途に応じて使い分けられます。

Paがよく使われる場面

• 真空ポンプの到達圧力
• 真空チャンバーの圧力表示
• リーク試験
• 半導体・薄膜装置
• 研究・実験装置
• 国内メーカーの真空機器仕様
• JIS・SI単位系に合わせた資料

Torrとは？真空分野でよく使われる単位

Torrは「トル」と読みます。真空分野でよく使われる圧力単位で、1 Torrは標準大気圧の760分の1として定義されます。

Torrは、真空ポンプ、真空計、研究装置、海外メーカーの真空機器資料などでよく見かけます。特に海外の真空関連資料では、PaよりTorrの方がよく使われることもあります。

Torrがよく使われる場面

• 海外製の真空ポンプ仕様
• 真空計・圧力計の表示
• 研究装置・実験条件
• 薄膜形成、蒸着、スパッタ装置
• 真空チャンバーの圧力管理
• 古い真空関連資料

mbarとは？真空機器でよく見るミリバール

mbarは「ミリバール」と読みます。barの1000分の1の単位で、欧州系の真空機器や圧力機器でよく見かけます。

mbarはPaとの変換が非常にわかりやすい単位です。1 mbarは100 Paなので、Paをmbarに変換する場合は100で割るだけです。

mbarがよく使われる場面

• 欧州メーカーの真空ポンプ
• 真空計・圧力計
• 真空乾燥機
• 脱泡装置
• 包装機・食品関連設備
• 海外仕様書・装置マニュアル

mmHgとは？水銀柱を基準にした圧力単位

mmHgは「ミリメートル水銀柱」と読みます。水銀柱の高さを基準にした圧力単位です。医療分野では血圧の単位としてよく使われますが、真空や古い圧力計、古い設備資料でも出てくることがあります。

真空分野では、mmHgとTorrは非常に近い値として扱われることが多いです。厳密には定義にわずかな違いがありますが、一般的な設備確認や概算では、1 mmHg ≒ 1 Torrとして考えられる場面が多いです。

mmHgがよく使われる場面

• 古い真空計・圧力計
• 古い設備資料・装置マニュアル
• 医療機器・血圧表示
• 水銀柱式の圧力表記
• 真空度の古い表記

PaからTorr・mbar・mmHgへ変換する方法

Paを基準にすると、他の真空単位への変換が整理しやすくなります。

例1：100 PaをTorr・mbar・mmHgに変換

100 Paを各単位に変換してみます。

つまり、100 Pa = 1 mbar ≒ 0.750 Torr ≒ 0.750 mmHgです。

例2：10 PaをTorr・mbarに変換

10 Paを変換すると、次のようになります。

10 ÷ 133.322 = 0.0750 Torr

10 ÷ 100 = 0.1 mbar

したがって、10 Pa ≒ 0.0750 Torr = 0.1 mbarです。

TorrからPa・mbar・mmHgへ変換する方法

TorrをPaへ変換する場合は、Torrの数値に133.322を掛けます。

例1：1 TorrをPa・mbarに変換

1 TorrをPaとmbarに変換します。

1 × 133.322 = 133.322 Pa

133.322 ÷ 100 = 1.33322 mbar

したがって、1 Torr = 133.322 Pa = 1.33322 mbarです。

例2：10 TorrをPa・mbarに変換

10 TorrをPaとmbarに変換します。

10 × 133.322 = 1333.22 Pa

1333.22 ÷ 100 = 13.3322 mbar

したがって、10 Torr ≒ 1333 Pa = 13.33 mbarです。

mbarからPa・Torr・mmHgへ変換する方法

mbarはPaとの変換が簡単です。1 mbar = 100 Paなので、mbarをPaに変換する場合は100を掛けます。

例1：1 mbarをPa・Torrに変換

1 mbarをPaとTorrに変換します。

1 × 100 = 100 Pa

100 ÷ 133.322 = 0.750 Torr

したがって、1 mbar = 100 Pa ≒ 0.750 Torrです。

例2：0.1 mbarをPa・Torrに変換

0.1 mbarをPaとTorrに変換します。

0.1 × 100 = 10 Pa

10 ÷ 133.322 = 0.075 Torr

したがって、0.1 mbar = 10 Pa ≒ 0.075 Torrです。

複数の真空単位をまとめて確認したい場合

真空度の単位変換は、Pa・Torr・mbar・mmHgの関係を覚えればかなり読みやすくなります。ただ、実務では真空単位だけでなく、kPa、bar、atm、psi、mmH2Oなどが同じ資料に出てくることもあります。

たとえば、真空ポンプの到達圧力はPa、海外の真空計はTorr、欧州メーカーの資料はmbar、古い図面ではmmHgというように、資料ごとに単位が分かれることがあります。毎回手計算すると、確認に時間がかかり、桁ミスも起きやすくなります。

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真空度を見るときの重要ポイント

真空度の単位変換では、単位の関係だけでなく、表示の意味を理解することも重要です。特に「絶対圧」「ゲージ圧」「真空度表記」を混同すると、同じ数値でもまったく違う意味になります。

1. 絶対圧では数値が小さいほど高真空

Pa、Torr、mbarなどで真空を絶対圧として表している場合、数値が小さいほど高い真空です。

2. 真空度表記と絶対圧を混同しない

真空計や古い資料では、「真空度」や「vacuum」という言葉が、大気圧からどれだけ低いかを表している場合があります。一方で、真空ポンプや真空計の仕様では、到達圧力を絶対圧で表すことが多いです。

特に「真空度○○mmHg」「-○○kPa」「○○inHg vacuum」のような表記は、絶対圧ではなく大気圧基準の表示である可能性があります。真空ポンプや装置仕様を比較するときは、必ず基準を確認しましょう。

3. mmHgとTorrはほぼ同じだが、正式資料では確認する

mmHgとTorrは非常に近い単位で、一般的な設備確認ではほぼ同じように扱われることがあります。ただし、厳密には定義がわずかに異なります。研究、校正、規格、保証値の確認では、元資料の単位表記をそのまま残すのが安全です。

4. mbarとPaは100倍の関係

mbarはPaとの変換が簡単です。1 mbar = 100 Paです。つまり、10 mbarは1000 Pa、0.1 mbarは10 Paです。

欧州メーカーの装置仕様では、到達圧力が「0.1 mbar」「1 mbar」「10 mbar」のように書かれることがあります。Paに直すと、それぞれ10 Pa、100 Pa、1000 Paです。

真空機器・設備資料での具体例

例1：真空ポンプの到達圧力が10 Paの場合

真空ポンプの仕様に「到達圧力：10 Pa」と書かれている場合、Torrとmbarに変換すると次のようになります。

つまり、10 Paは0.1 mbar、約0.075 Torrに相当します。

例2：海外仕様書に0.01 Torrと書かれている場合

0.01 TorrをPaに変換します。

0.01 × 133.322 = 1.33322 Pa

mbarに変換すると、1.33322 ÷ 100 = 0.0133322 mbarです。

したがって、0.01 Torr ≒ 1.33 Pa = 0.0133 mbarです。

例3：欧州メーカー資料に5 mbarと書かれている場合

5 mbarをPaとTorrに変換します。

5 × 100 = 500 Pa

500 ÷ 133.322 = 3.75 Torr

したがって、5 mbar = 500 Pa ≒ 3.75 Torrです。

例4：古い真空計に100 mmHgと書かれている場合

100 mmHgをPaに変換します。mmHgはTorrとほぼ同じとして考えると、

100 × 133.322 = 13332.2 Pa

mbarに変換すると、13332.2 ÷ 100 = 133.322 mbarです。

したがって、100 mmHg ≒ 13332 Pa = 133.3 mbarです。

ただし、古い真空計の「100 mmHg」が絶対圧なのか、大気圧からの真空度なのかは確認が必要です。

真空度の分類と単位の目安

真空の分類は業界や資料によって多少異なりますが、圧力の大きさで大まかにイメージすると理解しやすくなります。

実務では、真空ポンプや装置の仕様に「到達圧力」「運転圧力」「許容圧力範囲」などが記載されます。単位だけでなく、その値がどの条件で測定されたものかも確認しましょう。

よくある間違い

間違い1：真空は数値が大きいほど良いと思ってしまう

絶対圧で真空を表す場合、数値が小さいほど高真空です。1000 Paより100 Pa、100 Paより1 Paの方が高い真空です。

一方で、「真空度」や「vacuum」の表示では、大気圧からどれだけ引いたかを表す場合があり、この場合は数値が大きいほど真空側になります。ここを混同しないことが重要です。

間違い2：TorrとPaを1対1で換算してしまう

1 Torrは1 Paではありません。1 Torrは約133.322 Paです。

間違い3：mbarとPaの桁を間違える

1 mbarは100 Paです。10 Paではありません。0.1 mbarは10 Pa、10 mbarは1000 Paです。

間違い4：mmHgとmmH2Oを混同する

mmHgは水銀柱、mmH2Oは水柱です。名前は似ていますが、圧力の大きさは大きく違います。真空や医療ではmmHg、空調や微差圧ではmmH2Oが使われることがあります。

間違い5：到達圧力と使用圧力を混同する

真空ポンプの仕様には「到達圧力」が書かれていることがあります。これはポンプが理想的な条件でどこまで圧力を下げられるかを示す値です。

一方、実際の装置で使う圧力は、チャンバー容量、配管、リーク、ガス発生、ポンプ能力、運転条件によって変わります。到達圧力だけを見て、実際の運転圧力と同じだと思わないようにしましょう。

関連する単位との違い

真空では、Pa・Torr・mbar・mmHg以外にも、kPa、bar、atm、inHg、psiなどが出てくることがあります。周辺単位も一緒に整理しておくと、仕様書を読みやすくなります。

カスタム単位や複数ステップ計算が必要な場合

Pa・Torr・mbar・mmHgの変換だけなら、この記事の式と早見表で十分です。ただし、実務では単位変換が1回で終わらないこともあります。

たとえば、海外仕様書ではTorr、欧州メーカー資料ではmbar、国内資料ではPa、古い装置マニュアルではmmHg、圧力計にはkPaやbarが表示されている場合があります。さらに、真空条件と流量、温度、時間、圧力差などを一緒に確認したい場面もあります。

実務でのチェックリスト

真空度の単位変換をするときは、次の点を確認しておくとミスを減らせます。

• Pa、Torr、mbar、mmHgのどの単位で書かれているか
• 絶対圧なのか、ゲージ圧なのか
• 真空度表記なのか、到達圧力なのか
• 数値が小さいほど高真空という前提で読んでよいか
• TorrとPaの換算で133.322倍を忘れていないか
• mbarとPaの換算で100倍を間違えていないか
• mmHgとmmH2Oを混同していないか
• 到達圧力と実際の運転圧力を混同していないか
• 元資料の単位を記録に残しているか

真空装置では、単位の桁ミスがポンプ選定、チャンバー設計、工程条件、品質確認に影響することがあります。変換後の値だけでなく、元の数値と元の単位も一緒に残しておくと安全です。

まとめ

真空度の単位には、Pa、Torr、mbar、mmHgなどがあります。PaはSI単位、Torrは真空分野でよく使われる単位、mbarは欧州系機器でよく見る単位、mmHgは水銀柱由来の単位です。

単発の換算であれば、この記事内の式と早見表で十分です。ただ、Pa、Torr、mbar、mmHgに加えて、kPa、bar、psi、流量、温度など複数の単位を日常的に扱う場合は、換算結果を保存したり、よく使う単位を整理したりできるツールを使うと、確認作業のミス防止と時短につながります。

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FAQ

Q1. 1 Torrは何Paですか？

1 Torrは約133.322 Paです。TorrからPaへ変換する場合は、Torrの数値に133.322を掛けます。

Q2. 1 Paは何Torrですか？

1 Paは約0.00750062 Torrです。PaからTorrへ変換する場合は、Paの数値を133.322で割ります。

Q3. 1 mbarは何Paですか？

1 mbarは100 Paです。mbarからPaへ変換する場合は、mbarの数値に100を掛けます。

Q4. 1 Paは何mbarですか？

1 Paは0.01 mbarです。Paからmbarへ変換する場合は、Paの数値を100で割ります。

Q5. 1 mmHgは何Paですか？

1 mmHgは約133.322 Paです。真空分野では、1 mmHgは約1 Torrとして扱われることが多いです。

Q6. TorrとmmHgは同じですか？

非常に近い値で、実務上はほぼ同じように扱われることがあります。ただし、厳密には定義がわずかに異なります。校正や規格文書では、元の単位表記を確認してください。

Q7. 100 Paは何Torrですか？

100 Paは、100 ÷ 133.322 = 約0.750 Torrです。また、100 Paは1 mbarです。

Q8. 10 Paは何mbarですか？

10 Paは0.1 mbarです。Paからmbarへ変換する場合は100で割ります。

Q9. 真空では数値が小さいほど良いのですか？

絶対圧で表している場合は、数値が小さいほど高い真空です。たとえば、100 Paより10 Pa、10 Paより1 Paの方が高真空です。ただし、真空度表記やゲージ圧表記では見方が変わる場合があります。

Q10. 真空ポンプの到達圧力とは何ですか？

到達圧力は、真空ポンプが理想的な条件でどこまで圧力を下げられるかを示す値です。実際の装置では、チャンバー容量、配管、リーク、ガス発生、運転条件などによって実際の圧力が変わります。

Q11. mbarとbarはどう違いますか？

mbarはbarの1000分の1です。1 barは100000 Pa、1 mbarは100 Paです。真空機器ではmbar表記がよく使われます。

Q12. 真空度の単位変換を毎回手計算するのが面倒です

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